白光干涉仪能测什么？？？

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一、白光干涉仪能测什么

白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度;于涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以szeacl.gq光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。可用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。

二、白光干涉仪的原理

光源发出的光经过扩束准直后经分otkfbe.gq光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反eljdty.gq射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。白光干涉三维形貌仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光pdealv.gq面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。

三、白光干涉仪的组成

白光干涉仪由以下及部分构成：光学照明系统 ，采用卤素光源，其中心波长为576纳米，光谱范围从340纳米到780纳米。光学成像系统 采用无限远光学成像系统，由显微物镜和成像目镜组成。垂直扫描控制系统 由压电陶瓷以及控制驱动器构成，采用闭环反馈控制方wwoxnf.gq法，可精密驱动显微物镜上下移动，移动范围100mm。位置移动精度为0.1纳米。信号处理系统 信号处理系统是该仪器的核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。应用软件 应用软件主要由操作控制部分，结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时，以三维立体，二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。

四、白光干涉仪的优点

白光干涉仪与台阶仪相比具有以下优点：一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测mywtyt.gq量的位置；四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。随着白光干涉测量技术的发展和完善，白光干涉测量仪器已经得到了广泛的应用。在微电子wqttbq.gq、微机械、微光学等领域，白光干涉测量仪器可以提供更高精度的检测需求。

五、制样要求

1.样品需平整;

⒉样品尺寸不超过50*50mm就可以